静電マイクロアクチュエータを用いたサブ波長格子可変カラーフィルタ (電子部品・材料)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2012-05-17
著者
関連論文
- CMOS-First, MEMS-Last 型集積化法におけるMEMSポストプロセスの検討
- アクティブフェイズドアレイアンテナの移相器応用RF-MEMSスイッチ
- 積層型マイクロ流路ミキサーを用いた多対少量混合
- スパイダーレッグ型アクチュエータによるシリコンレンズスキャナを利用する9x9光交差連結器
- 電極構造・弾性体のレイヤー分離による静電櫛歯型XYステージの高密度化
- 2次元光スキャナ用スパイダーレッグ型マイクロXYステージの電気機械的特性解析
- 櫛歯型静電マイクロアクチュエータによるレンズ光スキャナの検討
- 2A1-F03 パリレン保護によるSi細線MEMS変調素子の作製方法の検討(MEMSとナノテクノロジー)
- 静電マイクロアクチュエータを用いたサブ波長格子可変カラーフィルタ (電子デバイス)
- 静電マイクロアクチュエータを用いたサブ波長格子可変カラーフィルタ (電子部品・材料)
- 静電マイクロアクチュエータを用いたサブ波長格子可変カラーフィルタ (シリコン材料・デバイス)