<研究解説>MEMS光ファイバスイッチのデバイス設計小論 (<特集>マイクロ・ナノメカトロニクス)
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概要
著者
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年吉 洋
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
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年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
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年吉 洋
東京大学生産技術研究所
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年吉 洋
東京大学 生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
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