<調査報告>米国におけるマイクロマシンの産業応用 : 平成10年度三好研究助成金報告

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概要

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• 東京大学の論文

著者

• 年吉 洋

  東大生産研

• 年吉 洋

  東京大学生産技術研究所

関連論文

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• ナノメートルオーダの機械振動子の作製
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