マイクロ・ナノメカトロニクス (応用物理分野におけるアカデミック・ロードマップ)

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概要

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著者

• 年吉 洋

  東大生産研

関連論文

• マイクロ・ナノメカトロニクス (応用物理分野におけるアカデミック・ロードマップ)
• 21109 MEMS機械構造の電気回路化(基調講演,MEMS技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
• MEMS光スキャナー (特集 光で/を動かす技術)
• 光給電型MEMSスキャナによるOCT内視鏡の試作
• マイクロ・ナノメカトロニクス
• プラズモン光学を応用したMEMS型可変色デバイスの検討
• 惑星探査機搭載用LIDARの2次元走査機構に関する研究
• B-1-171 高密度実装した間引き給電・能動型位相配列アンテナAPAA(B-1.アンテナ・伝播C(アンテナシステム),一般セッション)
• 液中でのレーザー励起プラズマによる3次元カラー画像表示器
• シリコン酸化膜犠牲層エッチング技術
• メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作
• 浮島構造を用いたSOI静電駆動型チルトミラーの信頼性改善
• MEMS技術の光ファイバ内視鏡応用 (特集 光MEMS技術の新展開)
• 国際会議報告：IEEE Optical MEMS and Nanophotonics 2010
• 24・6 RF-MEMS(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
• C-3-28 MEMS光駆動型ファイバ内視鏡によるOCT観察(光計測・センシング(II),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
• C-5-1 光MEMS技術の実用化に関する先駆的研究(C-5.機構デバイス,一般セッション)
• C-3-49 光ファイバ通信におけるMEMS技術(光スイッチ・変調器(1),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
• MEMS技術の光ファイバコンポーネントへの新展開
• 静電マイクロアクチュエータの駆動機構と設計限界
• MEMS光スイッチの最近の話題
• 米国におけるマイクロマシンの産業応用 : 平成10年度三好研究助成金報告
• マイクロマシニングのメカニカル光スイッチ応用
• 印刷技術によるフレキシブルMEMSカラーピクセル(ディスプレイ材料・製造技術シンポジウム)
• 電気回路シミュレータによるMEMSアクチュエータ・センサの等価回路モデル(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
• 宇宙用慣性駆動型マイクロアクチュエータ
• 準平行平板型静電トーションミラーの等価回路モデル
• 分岐型サスペンション構造への運動方程式等価回路モデルの応用
• 電気回路シミュレータを用いたMEMS電圧-周波数変換器のシミュレーション
• エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用(機構デバイス)
• 圧電フィルムによるエネルギーハーベスティングと2V有機トランジスタ回路を搭載した靴の中敷き型万歩計(エナジーハーベスティング・電源・ドライバ,低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)
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• 11-3 撮像デバイスの3 次元集積化に向けた要素技術の開発(第11部門 情報センシング,情報ディスプレイ)
• 水平駆動型MEMS導波路の静電駆動時における高周波特性の評価手法(マイクロ波,ミリ波)

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