[招待論文]MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理,LSI,及び一般)
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概要
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マイクロマシン(Micro Electro Mechanical Systems, MEMS)技術により製作した微小な機械構造を,スイッチ,周波数フィルタ,可変容量等の高周波デバイスに応用した研究について,マイクロマシンの製作法,駆動方法などの基本的技術を交えつつ紹介する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-06-19
著者
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
年吉 洋
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所
-
年吉 洋
東京大学生産技術研究所
-
年吉 洋
東京大学先端研
-
角嶋 邦之
東京大学生産技術研究所
-
藤田 博之
東京大学生産技術研究所
-
角嶋 邦之
東京大学生産技術研究所 藤田博之研究室
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