MEMSと次世代ナノテクノロジー(ナノメカ技術,<特集>次世代ナノテクノロジー論文)
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概要
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近年,ナノテクノロジーの研究は急速な発展を遂げ,ナノ材料やナノ粒子は実用化段階に入っている.今後ナノテクノロジーが発展する方向は,ナノスケールに特異的に発現する機能をもつナノ要素を個別に利用することを目指すであろう.多数のナノ要素を個別に組み合わせ,設計どおりのナノシステムに組み上げることは大きな技術的挑戦である.これを解決する方策は,ナノ領域の現象の根本的な理解に基づき,ボトムアップ技術とトップダウン技術の長所を組み合わせた統合的な製造技術を開発することである.本論文では,典型的なトップダウン製造技術であるMEMS(マイクロマシン)技術が,ナノ領域の理解とナノシステムの創成に果たす役割について論ずる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-01-01
著者
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