マイクロ光スイッチ用垂直ミラーの作製

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概要

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• 1998-11-05

著者

• 藤田 博之

  東大生研

• 三田 信

  JAXA

• 宮内 大助

  TDK記録デバイス事業本部

• 三田 信

  東大生研

• 年吉 洋

  東大生研

• 宮内 大助

  Tdk

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