高温超電導磁気浮上を用いたマイクロX-Y-θ搬送アクチュエータの動作特性

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概要

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• 1996-05-29

著者

• 藤田 博之

  東大生研

• 増田 鉄也

  埼工大

• 飯塚 哲彦

  東京大学生産技術研究所

• 飯塚 哲彦

  東大生研

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