<研究速報>超電導磁気浮上を用いたマイクロ搬送アクチュエータの精密位置決め(<小特集>マイクロマシン)
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概要
著者
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藤田 博之
3rd Department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo
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飯塚 哲彦
東京大学生産技術研究所
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飯塚 哲彦
3rd Department, Institute of Industrial Science, Univeristy of Tokyo
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