<研究速報>ナノスケール科学技術における傾向 : 薄膜の機械的特性の測定 (<小特集>マイクロマシン)

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概要

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• 東京大学の論文

著者

• 藤田 博之

  3rd Department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo

• ウマディ ムサ

  Centre National De La Recherche Scientifique

• ファルノー エチエンヌ

  2nd Department Institute Of Industrial Science University Of Tokyo

• 増沢 隆久

  2nd department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo

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