<研究速報>ナノメートルオーダの機械振動子の作成方法と特性測定 (<特集>先進プロダクションテクノロジー)
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概要
著者
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川勝 英樹
東大生研
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川勝 英樹
東京大学生産技術研究所 マイクロナノメカトロニクス国際研究センター
-
佐谷 大輔
東京大学生産技術研究所
-
佐谷 大輔
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
ウマディ ムサ
Centre National De La Recherche Scientifique
-
ラバシェルリ ミッシェル
Centre national de la Recherche Scientifique
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ドラバシェルリ ミッシェル
フランス科学研究庁
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ウマディ ムサ
フランス科学研究庁
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川勝 英樹
東京大学生産技術研究所
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