磁気吸引浮上機能を有するリニアステップモータ
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概要
著者
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川勝 英樹
東京大学生産技術研究所 マイクロナノメカトロニクス国際研究センター
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樋口 俊郎
東京大学生産技術研究所
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堀越 敦
日本精工(株)
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水野 毅
職業訓練大学校
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川勝 英樹
東京大学生産技術研究所
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