摩擦力制御によるインパクト駆動機構の高速化
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概要
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This paper describes a method of improving velocity of the precise positioning mechanism (IDM : Impact Drive Mechanism) utilizing rapid deformations of piezoelectric elements. While the IDM has an ability of very minute motion of several nanometers, the maximum velocity is not as fast as positioning mechanisms using ball-screw or friction drive. By controlling friction applying inertial force vertical to the traveling direction, the movement per one step is increased and the cycle time is reduced. With the friction control, the returning acceleration can be 20 times and velocity, about 10 times as large as those without friction control.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1992-08-05
著者
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