<研究速報>加熱により作製したナノメートルオーダの振動子の形状変化と機械特性 (<小特集>マイクロマシン)
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概要
著者
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川勝 英樹
東大生研
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佐谷 大輔
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
-
ウマディ ムサ
Centre National De La Recherche Scientifique
-
佐谷 大輔
2nd Department, Instituteof Industrial Science, University of Tokyo
-
ラバシェルリ ミッシェル
Centre national de la Recherche Scientifique
-
川勝 英樹
2nd Department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo
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