川勝 英樹 | 2nd Department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo
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概要
関連著者
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川勝 英樹
東大生研
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川勝 英樹
2nd Department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo
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佐谷 大輔
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
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佐谷 大輔
2nd Department, Instituteof Industrial Science, University of Tokyo
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ラバシェルリ ミッシェル
Centre national de la Recherche Scientifique
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福田 智史
東京大学生産技術研究所第2部
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ゴーレキ クリストフ
東京大学生産技術研究所第2部
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年吉 洋
3rd Department, Institute of Industrial Science, University ofTokyo
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藤田 博之
3rd Department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo
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ロシャ エリック
2nd Department Institute Of Industrial Science University Of Tokyo
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ウマディ ムサ
Centre National De La Recherche Scientifique
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福田 智史
2nd Department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo
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ゴレキ クリストフ
東大 生産技研
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ボノット エリック
2nd Department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo
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ゴレキ クリストフ
2nd Department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo
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ボノット エリック
2nd Department Institute Of Industrial Science University Of Tokyo
著作論文
- 走査型電子顕微鏡下でのナノメータオーダの3次元物体へのプロービング機構 (マイクロマシン)
- 加熱により作製したナノメートルオーダの振動子の形状変化と機械特性 (マイクロマシン)
- 結晶を基準に用いた2次元位置決め制御 (先進プロダクションテクノロジー)
- シリコンインテグレーテイドオプティクス (マイクロマシン)
- トンネル電流を用いた変位検出の問題点 (マイクロマシン)