走査トンネル顕微鏡とメカトロニクスに関する研究調査

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概要

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• 東京大学生産技術研究所第2部 精密機械工学の論文

著者

• 川勝 英樹

  東大生研

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• 走査型力顕微鏡探針のねじれ固有振動振幅マッピング (プロダクションテクノロジー)
• 結晶格子を基準としたリニアエンコーダー (プロダクションテクノロジー)
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