特集17 : 研究速報 : レーザー光を基準に用いた磁気浮上装置 : 5自由度能動制御型リニアスライダ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
特集 生産加工プロセスの先進技術
- 2011-10-06
著者
関連論文
- 29pPSB-29 摩擦力顕微鏡で計測されるピコニュートンの摩擦力の校正(29pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 研究速報「レーザー ドップラー干渉計と光熱励振法を用いた液中原子間力顕微鏡」
- ダイナミックラテラルフォース顕微鏡によるSAMの観察(摩擦の物理,研究会報告)
- 28aYD-5 原子分解能を有するダイナミックモードラテラルカ顕微鏡(領域6,領域9,領域11合同シンポジウム : 摩擦の科学の新展開 : ジオからアトミックトライボロジー)(領域6)
- 28aYD-5 原子分解能を有するダイナミックモードラテラルカ顕微鏡(領域6,領域9,領域11合同シンポジウム : 摩擦の科学の新展開 : ジオからアトミックトライボロジー)
- Atomic Force Microscopy Utilizing SubAngstrom Cantilever Amplitudes (特集1 プロダクションテクノロジー研究会)
- 変位センサレス磁気軸受の実用化に関する研究
- 変位センサレス磁気軸受による高速回転体の浮上制御
- 変位センサレス磁気軸受のターボ分子ポンプへの応用
- 結晶格子を用いた段差測定 (先進プロダクションテクノロジー)
- 高周波低振幅原子間力顕微鏡
- 「原子間力顕微鏡で水を見る」
- 18pWH-3 サブオングストローム振幅をもちいた原子スケールの摩擦計測(領域9,領域10合同シンポジウム ナノスコピック系の摩擦の物理:摩擦の素過程と制御,領域9,表面・界面,結晶成長)
- ナノ振動子と100万プローブの走査型力顕微鏡
- 超高速・超並列ナノメカニクス
- 百万本のカンチレバーと100MHzまでの原子間力顕微鏡(制御・システム)(近接場科学の工学応用をめざして)
- 原子間力顕微鏡における探針のねじれ固有振動を用いた可視化手法 (プロダクションテクノロジー)
- プローブ顕微法へのナノマシーニングの応用 (マイクロ・ナノメカトロニクス)
- 434 3次元ナノ構造物評価用電子顕微鏡内走査型プローブ顕微鏡(SEM-SPM)(光メカトロニクスII)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- 429 100万本のSPMカンチレバーアレー(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- (マイクロマシン特集号)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (マイクロマシン特集号)
- (マイクロマシン特集号)
- 走査型力顕微鏡探針のねじれ固有振動振幅マッピング (マイクロマシン特集号)
- 24aPS-85 光熱励起機構を備えた液中原子間力顕微鏡による固液界面の観察(24aPS 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 結晶格子を基準としたリニアエンコーダー (マイクロマシン特集号)
- 走査型力顕微鏡探針のねじれ固有振動振幅マッピング (プロダクションテクノロジー)
- 結晶格子を基準としたリニアエンコーダー (プロダクションテクノロジー)
- 結晶格子を基準としたリニアエンコーダ (プロダクション・テクノロジー)
- レーザダイオードの戻り光の計測への応用に関する研究 (プロダクション・テクノロジー)
- 走査型電子顕微鏡下でのナノメータオーダの3次元物体へのプロービング機構 (マイクロマシン)
- 校正用光波干渉計を備えた結晶格子基準段差測定平行バネSTM (プロダクションテクノロジ-)
- フランス科学技術庁(CNRS)と東京大学生産技術研究所(IIS)のマイクロメカトロニクスに関する共同研究
- フランス科学技術庁(CNRS)と東京大学生産技術研究所(IIS)のマイクロメカトロニクスに関する共同研究
- 3次元ナノ構造物評価用電子顕微鏡内原子間力顕微鏡の開発 (プロダクションテクノロジー)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (プロダクションテクノロジー)
- 走査型プローブ顕徴鏡と関連のある可視化技術
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製方法 (マイクロマシン)
- 結晶格子を基準として超精密側長と位置決め
- 特集17 : 研究速報 : レーザー光を基準に用いた磁気浮上装置 : 5自由度能動制御型リニアスライダ
- 特集19 : 研究速報 : 結晶格子を基準とした測長 : 10ナノメータオーダでの比較測長の精度の測定
- 特集16 : 研究速報 : 原子間力顕微鏡の力制御の多自由度化
- 光学顕微鏡下での微小物体のマニピュレ-ション (バイオテクノロジ-)
- 加熱により作製したナノメートルオーダの振動子の形状変化と機械特性 (マイクロマシン)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作成方法と特性測定 (先進プロダクションテクノロジー)
- 結晶を基準に用いた2次元位置決め制御 (先進プロダクションテクノロジー)
- 27pPSA-49 光熱励起機構を備えた液中原子間力顕微鏡による固液界面の観察II(27pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 結晶格子を基準とした測長--100ナノメ-タオ-ダでの比較測長の精度の測定 (マイクロメカトロニクス研究グル-プ)
- 磁気吸引浮上機能を有する二形式のステップモータ
- デュアルトンネルユニットSTM--測長器および位置決めテ-ブルとしての応用〔英文〕
- 結晶格子をインデックスに用いた位置決めテ-ブルの設計〔英文〕
- Making five atomic force microscope for 200,000yen each - A student project-
- シリコンインテグレーテイドオプティクス (マイクロマシン)
- 原子レベルの計測と制御 (プロダクションテクノロジー)
- トンネル電流を用いた変位検出の問題点 (マイクロマシン)
- RFコイルを用いた金属表面上での表面弾性波の非接触励起
- AFMカンチレバーの共振モード検出における光波干渉法と光てこ法の比較
- レ-ザ-光を基準に用いた磁気浮上機構--5自由度制御型磁気浮上リニアスライダ (プロダクションテクノロジ-)
- バイオサンプル観察のための原子間力顕微鏡の力制御の研究 (バイオテクノロジ-)
- 走査トンネル顕微鏡とメカトロニクスに関する研究調査
- レ-ザ光を基準に用いた磁気吸引浮上機構
- 結晶格子を用いた測長と位置決め (生産加工システムの先進技術)
- デジタルピエゾアクチュエ-タの研究--基本構想と基礎実験 (生産加工システムの先進技術)
- トンネル現象や原子間力のメカトロニクスへの応用 (生産加工システムの先進技術)
- 26pBB-8 ダイナミックモード原子間力顕微鏡による液中カシミール力の測定(26pBB 表面界面ダイナミクス,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 18pFN-14 液中カシミール力の測定 II(18pFN 表面界面ダイナミクス,領域9(表面・界面,結晶成長))