校正用光波干渉計を備えた結晶格子基準段差測定平行バネSTM (プロダクションテクノロジ-<特集>)

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概要

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• 東京大学生産技術研究所の論文

著者

• 川勝 英樹

  東大生研

関連論文

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• 走査型力顕微鏡探針のねじれ固有振動振幅マッピング (プロダクションテクノロジー)
• 結晶格子を基準としたリニアエンコーダー (プロダクションテクノロジー)
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• 3次元ナノ構造物評価用電子顕微鏡内原子間力顕微鏡の開発 (プロダクションテクノロジー)
• ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (プロダクションテクノロジー)
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