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東京大学生産技術研究所第2部 精密機械工学 | 論文

• トンネル現象や原子間力のメカトロニクスへの応用 (生産加工システムの先進技術)
• デジタルピエゾアクチュエ-タの研究--基本構想と基礎実験 (生産加工システムの先進技術)
• レ-ザ光を基準に用いた磁気吸引浮上機構
• 走査トンネル顕微鏡とメカトロニクスに関する研究調査

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