静電インパクト型マイクロアクチュエータの製作と駆動特性
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概要
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- 2000-09-13
著者
-
藤田 博之
東京大学
-
三田 信
JAXA
-
三田 信
東京大学生産技術研究所
-
小林 大
科学技術振興事業団
-
荒井 誠
東京大学生産技術研究所
-
小林 大
東京電機大学
-
荒井 誠
東京大学大学院
-
天坂 祥一
東京電機大学
-
三田 信
東京大学 生産技術研究所
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