三田 信 | 東京大学生産技術研究所

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概要

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関連著者

• 三田 信

  東京大学生産技術研究所

• 三田 信

  JAXA

• 藤田 博之

  東京大学生産技術研究所

• 橋口 原

  香川大学工学部

• 藤田 博之

  東京大学

• 藤田 博之

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 小林 大

  科学技術振興事業団

• 橋口 原

  香川大学

• 小林 大

  東京電機大学

• 橋口 原

  Research Institute Of Electronics Shizuoka University

• 三田 信

  東京大学 生産技術研究所

• 白樫 了

  東京大学生産技術研究所

• 橋口 原

  静岡大学

• 西尾 茂文

  東京大学生産技術研究所

• 年吉 洋

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 年吉 洋

  東京大学 生産技術研究所

• 年吉 洋

  東京大学生産技術研究所

• 西尾 茂文

  東大生研

• 岩上 健

  東京大学大学院工学系研究科

• 和田 恭雄

  (株)日立製作所基礎研究所

• 和田 恭雄

  日立基礎研 Crest

• 薗部 忠

  並木精密宝石(株)

• 遠藤 潤二

  科学技術振興事業団crest

• 角嶋 邦之

  東京大学生産技術研究所

• 白樫 了

  東大 生産技研

• 荒井 誠

  東京大学生産技術研究所

• 遠藤 潤二

  (株)日立製作所

• 荒井 誠

  東京大学大学院

• 天坂 祥一

  東京電機大学

• 角嶋 邦之

  東京大学生産技術研究所 藤田博之研究室

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著作論文

• マイクロ・ミニチュアJTクーラーに関する研究
• 静電ワブルモータの解析とディープRIEによる製作
• シリコンマイクロマシニングによるステップアクチュエータ (マイクロマシン)
• Siマイクロマシニング技術による微小領域計測用ツインプローブの試作
• 静電インパクト型マイクロアクチュエータの製作と駆動特性

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