小川 実 | Tec Cop. Tokyo Japan

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概要

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• Tec Cop. Tokyo Japanの論文著者

関連著者

• 小川 実

  Tec Cop. Tokyo Japan

• 山下 幸一

  東芝テック(株)技術本部製品開発センター

• 藤田 博之

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 年吉 洋

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 三田 吉郎

  東京大学

• 年吉 洋

  東京大学 生産技術研究所

• 年吉 洋

  東京大学生産技術研究所

• 三田 吉郎

  東大

• BOUROUINA Tarik

  LIMMS/CNRS, 東京大学生産技術研究所

• 小川 実

  東芝テック

• 年吉 洋

  3rd Department, Institute of Industrial Science, University ofTokyo

• 三田 吉郎

  3rd Department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo

• 藤田 博之

  3rd Department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo

• 藤田 博之

  東京大学生産技術研究所

• Bourouina Tarik

  Limms/cnrs 東京大学生産技術研究所

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著作論文

• SOIウエハによる音響の周波数分解センサの製作
• シリコン基板の異方性エッチングによるマイクロコネクタ (マイクロマシン)

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