MEMS対向針を用いたナノスケール接触・分離試験のTEMその場観察

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概要

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• 2013-02-10

著者

• 藤田 博之

  東京大学生産技術研究所

• 石田 忠

  東京大学生産技術研究所

• 佐藤 隆昭

  東京大学生産技術研究所

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