Electromechanical Analysis of a Micromachined Comb-Drive Actuator by Admittance Measurement

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概要

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• Electromechanical analysis of a micromachined comb-drive actuator based on equivalent circuit method is described. From the equivalent circuit, we formulated electrical admittance for a comb-drive actuator as a function of AC driving frequency and derived some relation between specific frequencies which can be obtained by admittance measurement. We have also found that mechanical parameters of a comb-drive actuator such as spring constant, rigid mass and mechanical resistance could be estimated by the relation of the specific frequencies. Using this theory we evaluated mechanical properties of a fabricated comb-drive actuator and confirmed its practical usefulness for characterization of a comb-drive actuator.

• 社団法人 電気学会の論文
• 2006-07-01

著者

• 橋口 原

  静岡大学

• FUJITA Hiroyuki

  Institute of Industrial Science, The University of Tokyo

• AYANO Kenjiro

  Faculty of Engineering, Kagawa University

• SUZUKI Katuyori

  Faculty of Engineering, Kagawa University

• HASHIGUCHI Gen

  Faculty of Engineering, Kagawa University

• 橋口 原

  Research Institute Of Electronics Shizuoka University

• Hashiguchi Gen

  Faculty Of Engineering Kagawa University

• Ayano Kenjiro

  Faculty Of Engineering Kagawa University

• Suzuki Katuyori

  Faculty Of Engineering Kagawa University

• FUJITA Hiroyuki

  Interdisciplinary Graduate School of Science and Engineering, Graduate School of Kinki University

• Fujita Hiroyuki

  Interdisciplinary Graduate School Of Science And Engineering Graduate School Of Kinki University

• Fujita Hiroyuki

  Institude Of Industrial Science The University Of Tokyo Fujita Lab.

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