Electromechanical Analysis of a Micromachined Comb-Drive Actuator by Admittance Measurement
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概要
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Electromechanical analysis of a micromachined comb-drive actuator based on equivalent circuit method is described. From the equivalent circuit, we formulated electrical admittance for a comb-drive actuator as a function of AC driving frequency and derived some relation between specific frequencies which can be obtained by admittance measurement. We have also found that mechanical parameters of a comb-drive actuator such as spring constant, rigid mass and mechanical resistance could be estimated by the relation of the specific frequencies. Using this theory we evaluated mechanical properties of a fabricated comb-drive actuator and confirmed its practical usefulness for characterization of a comb-drive actuator.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2006-07-01
著者
-
橋口 原
静岡大学
-
FUJITA Hiroyuki
Institute of Industrial Science, The University of Tokyo
-
AYANO Kenjiro
Faculty of Engineering, Kagawa University
-
SUZUKI Katuyori
Faculty of Engineering, Kagawa University
-
HASHIGUCHI Gen
Faculty of Engineering, Kagawa University
-
橋口 原
Research Institute Of Electronics Shizuoka University
-
Hashiguchi Gen
Faculty Of Engineering Kagawa University
-
Ayano Kenjiro
Faculty Of Engineering Kagawa University
-
Suzuki Katuyori
Faculty Of Engineering Kagawa University
-
FUJITA Hiroyuki
Interdisciplinary Graduate School of Science and Engineering, Graduate School of Kinki University
-
Fujita Hiroyuki
Interdisciplinary Graduate School Of Science And Engineering Graduate School Of Kinki University
-
Fujita Hiroyuki
Institude Of Industrial Science The University Of Tokyo Fujita Lab.
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