2117 交流ブリッジ回路による櫛歯アクチュエータの駆動とそのセンサ応用(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
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概要
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Comb-drive actuator operation using the Anderson-bridge is described. The Anderson-bridge is suitable for comb-drive actuator operation because equilibrium of the circuit is obtained by matching of resistances not only for AC but for DC which is required for coupling with mechanical motion and electrical response. We have examined equilibrium of the bridge by measuring bridge output using differential amplifier and tested response of the bridge when external force is applied to the comb-drive actuator.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-03-17
著者
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