T1601-1-2 MEMS振動子の白色雑音応答解析([T1601-1]マイクロナノメカトロニクス(1))
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概要
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This paper describes an analytical study of white noise in electrostatic MEMS devices. Two noise sources are taken in account, thermal noise and semiconductor interface trap noise. We simulated the noise voltage appeared in the capacitance of an electrostatic MEMS device using AR (autoregressive) equation and found that the interface trap noise is greater than the thermal noise. This suggests that some treatment annihilating such traps is necessary to reduce white noise in MEMS devices.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-09-04
著者
-
西森 勇貴
静岡大学 電子工学研究所
-
橋口 原
静岡大学
-
杉山 達彦
静岡大学
-
青山 満
静岡大学
-
西森 勇貴
BEANSプロジェクト
-
大磯 秀太
静岡大学
-
橋口 原
静岡大
-
大磯 秀太
静岡大
-
青山 満
静岡大学電子工学研究所
-
大磯 秀太
名古屋大
-
青山 満
静岡大
-
杉山 達彦
静岡大
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