杉山 達彦 | 静岡大学

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概要

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• 橋口 原

  静岡大学

• 杉山 達彦

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• 青山 満

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  静岡大学電子工学研究所

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  静岡大学 電子工学研究所

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著作論文

• 櫛歯振動子用カリウムイオン含有シリコン酸化物エレクトレット
• T1601-1-6 静電型MEMSオシレータの周波数ゆらぎに関する影響の考察(マイクロナノダイナミクスの計測と制御・マイクロナノメカトロニクス(1))
• T0302-2-4 MEMS振動子を用いた昇圧素子(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))
• 日本唯一のアルミニウム製造工場 : 膨大な電力を必要とするアルミナ製造・電解製錬
• 櫛歯振動子への酸化物エレクトレット形成に関する検討
• T1601-1-2 MEMS振動子の白色雑音応答解析([T1601-1]マイクロナノメカトロニクス(1))
• P-1 MEMS型静電アクチュエータ用Test Element Gridの検討(ポスター要旨講演)
• P-2 カリウムイオン含有シリコン酸化物エレクトレット(ポスター要旨講演)
• 埋め込み型エレクトレットに於ける帯電過程のその場観察と高電圧帯電に関する検討

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