Impact Microactuator Driven by Electrostatic Force
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概要
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A novel micromachined actuator which is developed to produce precise and unlimited displacement. The actuator is driven by impact force between a silicon micro-mass and a stopper. A suspended silicon mass is encapsulated between glass plates and driven by electrostatic force. By hitting a stopper, it generates impact force to drive the whole actuator in a small step (∿10nm). It is a micromachined and electrostatic version of the impact-drive actuator. The overall dimension of the device is 3mm×3mm. The driving voltage is 100V and average speed is 2.7μm/s. The total thickness is 600μm.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
著者
-
Fujita H
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
藤田 寛治
佐賀大学
-
Mita M
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
Mita Makoto
Institute Of Space And Astronautical Science (isas)
-
Mita Makoto
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
FUJITA Hiroyuki
Institute of Industrial Science, The University of Tokyo
-
KOBAYASHI Dai
Institute of Industrial Science, University of Tokyo
-
Fujimori Hiroyasu
Institute Of Material Research Tohoku University
-
Arai Makoto
Institute of Industrial Science, The University of Tokyo
-
Arai Makoto
Department Of Functional Genomics Chiba University Graduate School Of Medicine
-
Mita M
Iis. Univ. Of Tokyo & Crest/jst
-
Kobayashi Dai
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
Arai Makoto
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
Fujita Hiroyuki
Institude Of Industrial Science The University Of Tokyo Fujita Lab.
-
藤田 寛治
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
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