02aB11P 負極性パルス高電圧バイアス型高周波プラズマCVDによる機能性ダイヤモンド状薄膜合成(プラズマ応用)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2005-11-20
著者
-
大津 康徳
佐賀大学
-
秋山 守人
産総研九州センター
-
藤田 寛治
佐賀大理工
-
大津 康徳
佐賀大理工
-
三沢 達也
佐賀大理工
-
藤田 寛治
佐賀大学
-
秋山 守人
産業技術総合研究所九州センター
-
Fujita Hideki
Electric Power Research & Development Center Chubu Electric Power Co. Inc.
-
Fujita H
Center For International Research On Micromechatronics (cirmm) Institute Of Industrial Science (iis)
-
藤田 寛治
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
中村 千沙
佐賀大理工
-
西久保 桂子
産総研九州
関連論文
- 3D1-S2 身近な家電・情報機器による電磁波体験型創造性育成教材(展示セッション,日本科学教育学会 第30回年会論文集)
- リング状ホロー陰極効果による高密度高周波プラズマ生成
- 配向性窒化アルミニウム薄膜を用いた燃焼圧センサ
- インコネル基板上に作製した配向性ZnO薄膜を用いた燃焼圧センサ
- インコネル基板上に作製した配向性AIN薄膜を用いた燃焼圧センサ
- シリコン基板上に作製した配向性AIN薄膜の広帯域及び高温における圧電応答性
- インコネル基板上に作製した配向性AIN薄膜の高圧応答性と高温耐久性
- インコネル基板上に作製した配向性AIN薄膜の高温高圧応答性
- AlN薄膜圧力センサーの電気モデルによる基本特性の解析
- シリコン基板上に作製した配向性AIN薄膜の圧力応答性
- シリコン基板上に成膜した窒化アルミニウムの圧電定数の温度依存性
- 高配向性窒化アルミニウム薄膜の作製とその応用 : セラミックスの皮膚
- 窒化アルミニウム薄膜を用いた箔状フレキシブル圧力センサ
- プラズマコーティングによる撥水膜合成技術とその応用
- フッ化ビニリデンガスを用いた高周波プラズマCVDによる撥水性薄膜合成
- ホロー電極型高周波マグネトロンプラズマによる銅薄膜形成
- 低電子温度負イオンプラズマ中におけるシース構造の測定
- マイクロ波大口径プラズマにおける基板入射イオンの観測
- 拡散型マイクロ波大面積プラズマにおける基板入射イオンの速度分布関数
- 高周波放電プラズマ中の電子エネルギー分布に及ぼす駆動周波数の影響
- 2.Ne-Xe混合ガスを用いた高周波無電極光源における発光輝度の観測((1)光源・回路・放電現象(I) : 電球・蛍光ランプ関係)
- 無電極光源プラズマにおける発光輝度に及ぼす電子密度の影響
- 28. 無電極光源における蛍光体発光輝度に及ぼす封入ガスの影響((2)光源・回路・放電現象(II)(HIDランプ関係・その他))
- 無電極放電プラズマにおける蛍光体発光輝度と発光色に与える電子エネルギーの影響
- 17. 高周波無電極放電プラズマにおける蛍光体発光の輝度特性 : Hg蒸気圧の効果((1)光源・回路・放電現象(I)(電球・蛍光ランプ関係))
- パルス変調高周波放電における蛍光体発光色の観測
- 32. 高周波放電を用いた無電極光源の発光特性((2)光源・回路・放電現象(II)(HIDランプ関係・その他))
- シャンティングアーク放電プラズマの構造解析
- 二周波プラズマスパッタリングによる窒化アルミニウム薄膜の高速合成 : アルミニウム薄膜高速化
- 24aB15P 酸素プラズマスパッタ法による酸化ジルコニウム薄膜合成に及ぼすターゲット状態の影響(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 1J24 実験計画法による Ca_2Al_2SiO_7 : Ce のメカのルミネッセンス強度の向上
- プラント 高温設備診断のための圧電型耐熱AEセンサ
- 27aZA-8 電子レンジを用いた科学創造性育成のための教材開発(27aZA 物理教育,領域13(物理教育,物理学史,環境物理))
- リング状ホロー溝電極を用いた高密度容量結合型プラズマの生成
- リング状ホロー電極を用いた容量結合型プラズマの高密度化
- リング状溝電極を用いた高密度高周波プラズマ生成とその空間構造
- 2008リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告 : "キミは未来の科学者だ!"-光・音・かぜ…-
- 誘電体バリヤ放電に及ぼすXe/Neガス混合比の影響
- C_2H_2F_2を用いたプラズマCVD法による撥水性薄膜合成とその密着性の検討
- 高周波スパッタ中の炭素微粒子発生と成長過程
- 2007リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告 : "キミは未来の科学者だ!"-エネルギーをつくる、エネルギーをつかう-
- PCS法により作製したZnO-TiO_2-CoO-Al_2O_3系熱電材料の抵抗温度特性
- プロセス用高周波・マイクロ波プラズマ源の開発とその応用
- PCS法により作製したZnO-TiO_2-CoO-Al_2O_3セラミックスの熱電特性と微細構造
- 2006リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告 : "キミは未来の科学者だ!" -通信の科学-
- パルス電流焼結法を用いた酸化亜鉛系セラミックスの焼結に対する試料内部電流の影響
- 27aUC-12 紫外線照射によって非等方的な強結合状態を持つ微粒子プラズマの生成(27aUC プラズマ基礎(強結合系),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 2005年度リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告キミは未来の科学者だ! : サイエンスマジック
- 29pA04P ECRマイクロ波スパッタリングにおける基板入射イオンエネルギー分布の計測(プラズマ基礎・応用)
- 31p-YL-11 磁気フィルターを用いた高周波プラズマの電子温度制御
- パルス変調高周波プラズマにおける電子密度の時間推移機構
- 磁気フィルターを用いた高周波プラズマの電子エネルギー制御
- 間欠ジルコニウムアークPBII&D法によるジルコニア皮膜
- 24aB14P C_2H_2F_2ガスを用いた高周波プラズマCVDによる超撥水性薄膜合成とその密着性向上(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 高周波プラズマ中の電子エネルギー分布関数とイオン衝撃2次電子の観測
- 放電プラズマ焼結プロセスにおける焼結試料の構造形成に対する試料内部電流の効果
- 佐賀大学電気電子工学科プラズマエレクトロニクス研究室紹介
- 誘導結合型プラズマスパッタリングを用いた銅微粒子合成
- 3p-TC-4 高周波プラズマのイオンエネルギー分布計測
- 間欠ジルコニウムアークプラズマを用いたイオン注入・堆積法によるジルコニア皮膜特性のAr/O_2流量およびアーク電流依存性
- アルゴン/酸素混合ガス中における間欠ジルコニウム陰極アーク放電による酸化ジルコニウム薄膜堆積におけるガス流量の影響
- 26aB05P 容量結合型放電における高密度プラズマ生成に与える酸化物電極の影響(プラズマ基礎・応用)
- 20pA11P MgO電極を用いた狭ギャップ容量結合型放電の高密度化(プラズマ基礎・応用)
- 電子サイクロトロン運動と波乗り効果を重畳した高周波放電の観測
- 酸化物電極やホロー構造電極による容量結合プラズマの高密度化
- 26pXG-9 リングアンテナによる高周波放電プラズマ中で捕捉された微粒子雲に対する紫外線照射の影響(プラズマ基礎(ダスト・応用・その他),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 高周波アフターグロープラズマにおける電子密度の増加機構
- 25pB04 酸素誘導結合型プラズマによる酸化ジルコニウム薄膜合成(プラズマ基礎・応用I)
- 誘導結合型プラズマスパッタリングによる酸化ジルコニウム薄膜合成
- 25pA19P 紫外線照射によって非等方的な強結合状態を持つ微粒子プラズマの生成(プラズマ基礎, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 高周波プラズマによる機能性薄膜合成
- 低電子温度プラズマCVDによる撥水膜合成とその密着性改善
- 大気圧バリア放電を用いたメタン・水蒸気混合ガスの改質
- 低周波大気圧放電プラズマを利用した炭化水素ガスの分解処理実験
- 2004年度リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告
- 29pWH-11 内部リングアンテナを用いたRFプラズマ中での帯電微粒子群の空間的挙動(プラズマ基礎・科学(非中性・ダスト))(領域2)
- 佐賀でのリフレッシュ理科教室
- 27aC05P 反射イオンビームの2次元速度空間での拡がり(プラズマ基礎・応用)
- リング状溝電極を用いた高密度容量結合型プラズマの生成とその空間分布の均一化
- リフレッシュ理科教室 (九州支部佐賀会場) 開催報告
- 佐賀会場でのリフレッシュ理科教室
- Annular Profile of Dust Density near RF-Powered Electrode in a Capacitively Coupled Plasma
- 誘導結合型高周波プラズマにおける電子2次元速度分布関数
- 反射イオンビームの2次元速度空間構造
- 27pA05P 正バイアス基板反射イオンビームの2次元速度空間構造(プラズマ基礎・応用)
- 23aXF-8 負イオンプラズマにおけるシース電位構造の観測
- 29aA06P 大気圧バリア放電特性に及ぼす高2次電子放出・強誘電体電極材料の影響(プラズマ応用)
- 29aA05P エネルギーの異なるプラズマイオン交互注入による炭素系硬質薄膜合成(プラズマ応用)
- 28aB42P 低ガス圧下でのシャンティングアーク放電によるカーボンプラズマのプローブ特性(プラズマ基礎)
- 02aB11P 負極性パルス高電圧バイアス型高周波プラズマCVDによる機能性ダイヤモンド状薄膜合成(プラズマ応用)
- 17pRA-5 高周波誘導結合型プラズマ中の高周波電位形成と電子二次元速度分布関数
- 単極磁場配位型RFマグネトロンスパッタによるターゲット利用率改善
- 高周波リング状ホロー陰極放電プラズマ生成に及ぼす溝形状の影響
- 27pA31P 狭ギャップ容量結合型高周波放電における電極間距離・圧力の影響(プラズマ基礎・応用)
- 20aTD-3 方向性アナライザーを用いた反射イオンビーム2次元速度空間構造の観測
- 25aXG-12 浮遊微粒子の高周波電極近傍における空洞機構
- 容量結合型高周波プラズマ中の電子エネルギー分布関数と イオン衝撃2次電子の観測
- 高周波リング状ホロー陰極放電プラズマ生成に及ぼす溝形状の影響
- アルゴン・水素混合ガスを用いた高周波リング状ホロー放電プラズマ特性
- アルゴン・水素混合ガスを用いた高周波リング状ホロー放電プラズマ特性