単極磁場配位型RFマグネトロンスパッタによるターゲット利用率改善

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概要

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• 2012-05-10

著者

• 大津 康徳

  佐賀大学

• 三沢 達也

  佐賀大学

• 執行 正和

  佐賀大学

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