17pRA-5 高周波誘導結合型プラズマ中の高周波電位形成と電子二次元速度分布関数
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2001-09-03
著者
-
大津 康徳
佐賀大学
-
藤田 寛治
佐賀大理工
-
大津 康徳
佐賀大理工
-
Fujimori Hiroyasu
Institute Of Material Research Tohoku University
-
Cicman P.
佐賀大理工
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