25pB04 酸素誘導結合型プラズマによる酸化ジルコニウム薄膜合成(プラズマ基礎・応用I)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2003-11-18
著者
-
大津 康徳
佐賀大学
-
藤田 寛治
佐賀大理工
-
大津 康徳
佐賀大理工
-
三沢 達也
佐賀大理工
-
行村 建
同志社大工
-
Fujita H
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
藤田 寛治
佐賀大学
-
Fujimori Hiroyasu
Institute Of Material Research Tohoku University
-
三沢 達也
佐賀大学
-
行村 健
産業技術総合研究所
-
Fujita H
Center For International Research On Micromechatronics (cirmm) Institute Of Industrial Science (iis)
-
江上 正人
佐賀大理工
-
江上 正人
佐賀大学
-
藤田 寛治
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
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