行村 健 | 産業技術総合研究所
スポンサーリンク
概要
関連著者
-
行村 建
同志社大学
-
行村 建
同志社大工
-
行村 建
産業技術総合研究所
-
丸山 敏朗
京都大学
-
高木 浩一
岩手大学
-
玉垣 浩
(株)神戸製鋼所
-
沖本 忠雄
(株)神戸製鋼所
-
神原 信志
岐阜大学大学院工学研究科
-
東 欣吾
兵庫県立大
-
佐藤 直幸
茨城大学
-
吉門 進三
同志社大学工学部
-
藤原 民也
岩手大学
-
向川 政治
岩手大学
-
池畑 隆
茨城大学
-
藤原 民也
岩手大学工学部電気電子工学科
-
池畑 隆
茨城大学大学院理工学研究科応用粒子線科学専攻
-
神原 信志
岐阜大学
-
守富 寛
岐阜大学大学院工学研究科 環境エネルギーシステム専攻
-
神原 信志
岐阜大学大学院工学研究科環境エネルギーシステム専攻
-
松永 浩一
ハイデン研究所
-
山下 亨
出光興産(株)石炭・環境研究所
-
大津 康徳
佐賀大学
-
山下 亨
出光興産
-
三枝 亮介
同志社大学
-
藤田 寛治
佐賀大学
-
山下 亨
出光興産 石炭・環境研
-
山下 亨
出光興産(株)産業エネルギー部石炭・環境研究所
-
馬 欣新
同志社大学
-
久世 英司
同志社大学
-
神原 信志
出光興産(株)
-
江古 憲一
同志社大学工学部
-
Fujita H
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
Fujimori Hiroyasu
Institute Of Material Research Tohoku University
-
向当 正朗
同志社大学
-
小木曽 久人
産総研
-
中野 禅
産業技術総合研究所
-
小木曽 久人
産業技術総合研究所
-
小木曽 久人
(独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門集積加工研究グループ
-
中野 禅
産業技術総合研
-
馬 欣新
ハルピン工業大学
-
熊谷 正夫
神奈川産技セ
-
河村 賢介
同志社大学
-
山本 極
同志社大学
-
大野 一人
同志社大学工学部
-
熊谷 正夫
神奈川産総研
-
寺本 智之
同志社大学
-
大野 一人
同志社大学
-
木幡 護
東芝タンガロイ
-
神原 信志
岐阜大
-
藤田 寛治
佐賀大学理工学部
-
大津 康徳
佐賀大学理工学部
-
鈴木 泰雄
イオン工学研究所
-
小池 英仁
同志社大学
-
今井 貴文
同志社大学
-
斎藤 英純
神奈川高度技術支援財団
-
藤原 民也
岩手大・工
-
佐久間 雄基
同志社大学
-
野中 裕彌
茨城大学
-
吉岡 健司
同志社大学
-
松永 浩一
(株)ハイデン研究所
-
黒岡 俊次
イオン工学研究所
-
西田 充孝
同志社大学
-
熊谷 基也
同志社大学
-
村上 寛
同志社大学
-
須田 善行
北海道大学大学院情報科学研究科
-
中村 圭二
中部大学
-
須田 善行
北海道大学
-
中村 圭二
中部大学工学部
-
熊谷 倫
岩手大学工学部
-
今井 高文
同志社大学
-
佐藤 広輝
茨城大学
-
刑部 友敬
小島プレス工業
-
古谷野 文香
岐阜大学
-
Bratescu M.
Division Of Electronics And Information Engineering Graduate School Of Engineering Hokkaido Universi
-
平松 孝士
同志社大学
-
門口 敏秀
同志社大学
-
磯野 僚多
同志社大学
-
三沢 達也
佐賀大学
-
高木 浩一
岩手大学工学部
-
張 伯羊
同志社大学
-
神谷 旭人
茨城大学
-
今西 圭吾
岩手大学
-
真瀬 寛
茨城大学
-
田中 尚樹
同志社大学
-
藤田 寛治
佐賀大理工
-
齋藤 英純
神奈川高度技術支援財団
-
佐々木 宗生
滋賀県工業技術総合センター
-
佐々木 宗生
滋賀工技セ
-
中村 諭
岩手大
-
佐藤 弘基
茨城大学
-
玉垣 浩
株式会社 神戸製鋼所
-
沖本 忠雄
株式会社 神戸製鋼所
-
佐野 公謙
同志社大学
-
中尾 領揮
茨城大学
-
大津 康徳
佐賀大理工
-
三沢 達也
佐賀大理工
-
吉門 進三
同志社大学理工学部
-
Fujita Hisanori
Institute Of Laser Engineering Osaka University
-
明石 周平
同志社大学
-
小野 浩之
同志社大学
-
奥原 大地
兵庫県立大学
-
長谷川 隆治
岩手大
-
義永 博章
同志社大学
-
吉田 義昭
同志社大学
-
堀内 一男
同志社大学
-
久世 英司
同志社大
-
丸山 貴司
同志社大学
-
茶谷 和秀
同志社大学
-
山脇 孝
(株)ハイデン研究所
-
松本 陽栄
佐賀大学
-
政宗 貞男
京都工芸繊維大学
-
石川 真也
同志社大学
-
三沢 達也
佐賀大学理工学部
-
村上 貴之
岩手大学
-
今井田 豊
同志社大工
-
今井田 豊
同志社大学
-
秋山 守人
産総研九州センター
-
堀野 裕治
産総研
-
栗山 諒二
岐阜大学
-
加藤 博貴
同志社大学
-
渡部 雄介
茨城大学
-
根本 翔
茨城大学
-
Koichi Takaki
Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Engineering Iwata University
-
田中 優臣
同志社大学
-
木野村 淳
大阪工業技術
-
石山 政文
同志社大学工学部機械システム工学科
-
長谷部 忠司
同志社大学工学部機械システム工学科
-
熊野 雄太
岐阜大学
-
Masamune Sadao
Institute Of Plasma Physics Nagoya University:department Of Electrical Engineering Kyoto Institute O
-
谷 祐志
同志社大学
-
森本 伸司
同志社大学工学部
-
木野村 淳
(独)産業技術総合研究所
-
堀野 裕治
大阪工業技術研究所
-
秋山 守人
産業技術総合研究所九州センター
-
堀野 裕治
独立行政法人産業技術総合研究所関西センター
-
熊谷 基也
同志社大
-
清水 幸浩
同志社大学
-
神原 信志
岐阜大院
-
高橋 和貴
岩手大学工学部電気電子工学科
-
向川 政治
岩手大学工学部
-
青木 宏憲
岩手大学
-
佐々木 良太
茨城大学
-
小池 章人
茨城大学
-
丸山 寛
同志社大学工学部
-
阿部 将典
岐阜大学
-
渡辺 雄仁
岐阜大学
-
増子 冬馬
茨城大学
-
富田 和成
茨城大学
-
西村 芳実
(株)栗田製作所
-
西村 芳実
栗田製作所
-
真瀬 寛
茨城大工
-
佐藤 直幸
茨城大工
-
池畑 隆
茨城大工
-
高橋 和貴
岩手大学
-
中森 秀樹
ナノテック
-
平塚 傑工
ナノテック
-
原 史朗
産業技術総合研究所
-
菱田 茂二
(株)栗田製作所
-
茶谷原 昭義
大阪工業技術研究所
-
ABE Masanori
Gifu University
-
行村 建
同志社大学工学部電気工学科
-
石塚 直夫
茨城大学
-
玉垣 浩
神戸製鋼所
-
沖本 忠雄
神戸製鋼所
-
藤田 寛治
佐賀大・理工
-
諸岡 正人
茨城大学
-
日野 譲
佐賀大理工
-
平塚 傑工
ナノテック(株)
-
守富 寛
岐阜大
-
守富 寛
岐阜大学大学院工学研究科
-
行村 建
(株)神戸製鋼所
-
原 史朗
独立行政法人産業技術総合研究所
-
中出 康夫
同志社大学工学部機械システム工学科
-
MA Xinxin
ハルピン工業大学
-
古市 修平
京都セミコンダクター(株)
-
石山 正文
同志社大学
-
森永 裕樹
同志社大学工学部
-
浜谷 治
同志社大学工学部
-
江口 順子
同志社大学工学部
-
門屋 信孝
同志社大学工学部
-
佐藤 直幸
茨城大学工学部電気電子工学科
-
池畑 隆
茨城大学工学部電気電子工学科
-
真瀬 寛
茨城大学工学部電気電子工学科
-
諸貫 正樹
(株)リケン 研究開発部
-
丸山 敏朗
京都大学大学院工学研究科
-
黒岡 俊次
株式会社イオン工学研究所
-
鈴木 泰雄
株式会社イオン工学研究所
-
菱田 茂二
栗田製作所
-
佐藤 成悟
同志社大学工学部
-
祖父 江聡
同志社大学工学部
-
ADLER R.
NSRC
-
松山 将之
同志社大学
-
岩倉 克之
同志社大学
-
高木 寛維
同志社大学
-
長谷川 隆治
岩手大学
-
中村 諭
岩手大学
-
茶谷原 昭義
大阪工業技術研究所材料物理部
-
Fujita Hideki
Institute Of Plasma Physics Nagoya University
-
渡辺 雄仁
岐阜大
-
柿谷 真一
栗田製作所
著作論文
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電とパルスRF誘導プラズマ結合プラズマの電気的相互作用
- 正パルスバイアスPBII&D法によるTiNコーティングの予備実験
- デュアルプラズマ法による絶縁物表面の加工特性
- CNx成膜のためのシャンティングアークを用いた炭素・窒素混合プラズマの生成
- 磁気駆動型シャンティングアークプラズマからのイオン引き出しとシース近辺の密度の算定
- 正バイアス電極を用いたシャンティングアークによる誘起プラズマの生成
- シャンティングアーク放電誘起プラズマの電流特性
- 全方位シャンティングアーク放電による窒素を含むアモルファスカーボン薄膜生成
- ターゲット電流を用いたシャンティングアークプラズマの密度計測
- シャンティングアークアシストRF(195kHz)放電のイオン電流とイオン密度
- シャンティングアークアシストRF(195kHz)放電の発光スペクトル
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電プラズマの放電開始特性
- 大気圧非平衡プラズマによるH_2/N_2/O_2系水素酸化特性とその反応メカニズム
- デュアルプラズマ配位におけるイオンエネルギーのガス圧力依存性
- 対向電極型大電力パルススパッタ(HPPS)グロー放電と195kHz-RF放電のハイブリッド放電におけるガス変化による電気的特性の違い
- デュアルプラズマ配位における絶縁性基材の帯電中和条件の検討
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)マグネトロン放電装置の特性
- 対向電極型ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電からの金属イオンの引き出しおよび基材面のプラズマ密度
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)マグネトロン放電の電気的特性および発光スペクトル
- 対向電極型大電力パルススパッタ(HPPS)グロー放電と195kHz-RF放電によるハイブリッド放電の電気的特性
- シャンティングアーク放電プラズマの構造解析
- グリッド制御を用いたプラズマイオンプロセス
- ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)による発光スペクトルの観測およびプラズマ密度の検討
- 負パルス-デュアルプラズマ法の基礎特性とポリマー表面改質への応用
- 大気圧非平衡プラズマによる水素燃焼特性とその反応メカニズム
- ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)の電圧、電流特性および発光スペクトル
- 数十kW級大電力パルスグロー放電電気的特性の圧力依存性
- デュアルプラズマ配位の形成に対するグリッド粗さと印加電圧の効果
- 放電励起形KrFレ-ザの出力エネルギ-に与える混合ガス分圧率の影響--光波形の観測に基づく検討
- 紫外線予備電離Kr/He,F2/He混合気体放電およびKrFレ-ザ励起放電の電流特性
- デュアルプラズマイオンプロセスにおける絶縁性基材の帯電制御
- デュアルプラズマ含浸イオンプロセスによる絶縁物の表面処理
- 24aB15P 酸素プラズマスパッタ法による酸化ジルコニウム薄膜合成に及ぼすターゲット状態の影響(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- シャンティングアークを用いた窒素含有プラズマ生成とCNx成膜への適用
- シャンティングアークプラズマの大容積化と管内壁処理への適用
- 対向電極型HPPSグロープラズマ源が放出するプラズマ流の電流電圧特性
- 誘導結合型RFパルス放電を重畳させたハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電のアルゴン雰囲気下における電気的特性
- 対向電極型ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電からの金属イオンの引き出しおよび基材面における発光スペクトル
- 発光スペクトルにみるハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電における磁界の効果
- ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)から引き出されたプラズマとイオン電流に関する検討
- ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)におけるプラズマ負荷特性の検討
- ドロップレットフリー数十kW級大電力パルススパッタリング(HPPS)グロープラズマの生成
- NOx処理における酸素の影響
- DBDラジカルインジェクション法による、メッシュ長さの変化においてのNOx処理
- 間欠型DBDを用いたアンモニアラジカルインジェクション法DeNOxにおける注入モル比と処理効率
- エキシマレーザアブレーションによる加工深さのパルス幅及びターゲット材依存性 : MDシミュレーションによる検討
- 間欠ジルコニウムアークPBII&D法によるジルコニア皮膜
- 間欠ジルコニウムアークPBII&D法によるジルコニア皮膜
- PBII&D法によるRFスパッタ銅イオンを用いた酸化銅成膜
- 低気圧領域における無声放電励起希ガスエキシマ光出力の圧力依存性
- 低気圧領域における無声放電希ガスエキシマ光出力の圧力依存性
- 間欠型DBDを用いたアンモニアラジカルインジェクション法DeNOxにおける注入モル比と処理効率
- DBDアンモニアラジカルNOx処理法における高効率脱硝
- アンモニアラジカルNOx処理のギャップ長変化時におけるDBDエネルギー
- アンモニアラジカルNOx処理最適化におけるDBDギャップ長の影響
- 酸素を含む高濃度NO濃度領域における高効率脱硝
- アンモニアラジカルインジェクターにおける放電管ギャップ長のDeNOxに与える影響
- XeClエキシマレーザ励起放電におけるアーク移行と金属スペクトルの発生
- ニオブ酸リチウム(LiNbO_3)のKrFエキシマレーザ加工
- XeClエキシマレーザ励起放電におけるアーク移行と金属スペクトルの発生
- レーザアブレーションの分子動力学シミュレーション
- 大気中の誘電体バリア放電を用いたポリテトラフルオロエチレンの表面改質
- 大気中の誘電体バリア放電を用いたポリテトラフルオロエチレンの表面改質
- エキシマレーザーアブレーション法による機能性薄膜の製作
- パルスレーザアブレーション法によるDLC薄膜の生成
- チタン陰極アークプラズマイオン注入・堆積法による窒化チタン成膜における成膜圧力の影響
- シャンティングアークによるカーボン系素材の堆積
- 金属プラズマを用いたPBII&Dにおけるイオンの効果
- チタン陰極アークを使用したプラズマイオン注入・堆積法によるTiN薄膜のモホロジー
- 陰極アークを用いたプラズマイオン注入・堆積法における円筒内面改質におけるターゲット印加電圧
- プラズマイオン注入におけるイオンの役割とTiN薄膜の構造に対するイオンの動的挙動の影響
- シャンティングアークを用いた複合プラズマにおける分光特性
- 窒素ガス中の直流チタンアーク放電を用いたプラズマイオン注入による窒化チタン膜コーティング(プラズマ・表面相互作用)
- プラズマ中のイオン引出しによる三次元イオン注入技術
- 全方位型パルスイオン注入装置によるTi製膜
- 3次元イオン注入システムにおけるイオン電流のパラメータ依存性
- 一様垂直入射イオンビームによるTiの製膜
- パルス電圧印加を用いたイオン源の開発
- ArFエキシマレーザCVDによるSiO_2薄膜の形成
- ArFエキシマレーザCVDによるSiO_2薄膜の形成
- プラズマイオン注入を目的とした新しいモデュレータ動作へのターゲット面積およびターゲット位置の効果
- Crプラズマパルスイオン注入法による窒化クロム膜の生成と撥水性
- パルスイオン注入による窒化クロム膜における硬度および撥水性の改善
- プラズマイオン注入を目的とした新しいモデュレータ動作の基材面積およびターゲット位置の効果
- プラズマイオン注入を目的とした負荷に影響されない新しいモデュレータ
- 三次元形状物へのパルスイオン注入
- 大気圧グライディングアークプラズマによる表面改質
- 大気圧中に設置した細い金属線によるフィルムの除電効果
- 大気圧中に設置した細い金属線によるフィルムの除電効果
- 負荷の影響を受けないプラズマイオン注入用パルスモデュレータの開発
- 大気圧における間欠誘電体バリア放電によって生成したNH_3ラジカルによるNOx処理
- チタンプラズマパルスイオン注入法によるTiN薄膜生成
- 間欠ジルコニウムアークプラズマを用いたイオン注入・堆積法によるジルコニア皮膜特性のAr/O_2流量およびアーク電流依存性
- 磁気駆動を用いたシャンティングアークプラズマ成膜の速度改善
- 磁気駆動型シャンティングアークをもちいたアモルファスカーボン成膜
- 磁気駆動型シャンティングアークの発生とその電気的特性
- 3次元イオン注入用60kV級完全乾式絶縁IGBTモジュレータ
- 接点開離金属アークを種とする正バイアス電極を用いた複合プラズマ生成
- 正バイアス・プラズマイオンプロセスの展開
- 26aB02P プラズマイオン注入における正パルスバイアス法の提案とイオンエネルギー(プラズマ基礎・応用)
- プラズマイオン注入におけるトレンチ形状基材のシースの形成と動的挙動
- プラズマイオン注入における基材の三次元形状効果
- 誘電体バリア放電を用いたアンモニアラジカル注入法によるNOx処理
- 蔵書の宝庫―国立国会図書館関西館
- アルゴン/酸素混合ガス中における間欠ジルコニウム陰極アーク放電による酸化ジルコニウム薄膜堆積におけるガス流量の影響
- 間欠パルス放電アンモニアラジカルインジェクション法による高濃度NOの高効率脱硝
- 誘電体バリア放電ラジカルインジェクタ方式NO除去の最適パラメータ
- 誘電体バリア放電を用いた低NH_3濃度・低電圧での高効率脱硝
- 針電極を持つ高誘電率セラミックスを用いた沿面コロナによる生成電子密度
- エキシマレーザの予備電離を目的とした高誘電率のセラミックスを用いたコロナ発生装置
- 無声放電励起希ガスエキシマランプの動作解析
- 同軸型電極によるシャンティングアークの発生とDLC堆積
- 真空中シャンティングアークの電気的特性
- カーボンシャンティングアークの発生とDLC生成
- 非金属材料のシャンティングアーク実験とDLC堆積
- 306 大気圧プラズマで生成させたアンモニアラジカルによる高効率排煙脱硝(大気環境改善技術(1),大気・水保全技術)
- ウエットエッチングにより加工したYBCOマイクロストリップ線路共振器の作製と評価
- RFマグネトロンスパッタ法により作成したYBCO薄膜のマイクロ波抵抗
- 大気圧における間欠誘電体バリア放電によって生成したアンモニアラジカルによるNOx処理
- 大気圧における間欠誘電体バリア放電によって生成したアンモニアラジカルによるNOx処理
- 大気圧における間欠誘電体バリア放電によって生成したNH_3ラジカルによるNOx処理
- 酸化物高温超伝導体YBCO薄膜を用いたマイクロ波フィルターの作成および評価
- 中心波長128nmArエキシマ光によるPTFE表面の親水化
- エキシマレーザ予備電離放電からの金属スペクトルの発生
- エキシマランプによるPTFEの表面改質
- エキシマランプによるPTFEの表面改質
- 磁気駆動型シャンティングアークにおけるイオン電流とメタン中アークによる水素含有量の変化
- 25pB04 酸素誘導結合型プラズマによる酸化ジルコニウム薄膜合成(プラズマ基礎・応用I)
- 誘導結合型プラズマスパッタリングによる酸化ジルコニウム薄膜合成
- シャンティングアーク放電によるアモルファスカーボン薄膜の生成
- 金属プラズマイオン注入法による絶縁物への堆積/注入
- トリガ機構を用いないシャンティングアークによるパルス金属イオン源の開発
- Arエキシマ光によるPTFE表面改質の可能性
- 3次元イオン注入装置におけるパルス放電生成プラズマイオン源の開発
- KrFエリシマレーザ用予備電離パルスアーク放電のスペクトル観測
- エキシマレーザによるキセノンプラズマの分光観測
- 無声放電励起希ガスエキシマ光の発生とPTFEの分解
- 対向電極型ハイパワーパルススパッタグロー放電における静電シールドの効果
- 高密度パルスプラズマ生成用高電圧 - 大電流パルス電源の開発
- 対向電極型大電力パルススパッタグロー放電のガス変化における発光スペクトルの解析
- 誘導結合型RFパルス放電を重畳させたハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電のアルゴン/窒素雰囲気下における電気的特性
- Metal Ionization in a High-Power Pulsed Sputtering (HPPS) Penning Discharge
- 大気圧非平衡プラズマによる燃料電池水素オフガスの酸化特性
- プロセスチャンバー汚損内壁の環境調和型プラズマクリーニング法の検討
- ラジカルインジェクション脱硝法のラジカル反応メカニズム
- シャンティングアークの並列駆動と炭素成膜
- 内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタプラズマの電気的特性
- A new approach of high-power pulsed glow-plasma generation : shunting glow plasma
- 大気圧非平衡プラズマによる水素の酸化特性
- 29aA05P エネルギーの異なるプラズマイオン交互注入による炭素系硬質薄膜合成(プラズマ応用)
- 28aB42P 低ガス圧下でのシャンティングアーク放電によるカーボンプラズマのプローブ特性(プラズマ基礎)
- シャンティングアークプラズマの半導体制御及びダブルプローブ計測
- 内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタ放電におけるイオン電流の圧力依存性