佐久間 雄基 | 同志社大学
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概要
関連著者
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行村 建
同志社大学
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玉垣 浩
(株)神戸製鋼所
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沖本 忠雄
(株)神戸製鋼所
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佐久間 雄基
同志社大学
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行村 建
同志社大工
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行村 健
産業技術総合研究所
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行村 建
産業技術総合研
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行村 建
産業技術総合研究所
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東 欣吾
兵庫県立大
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東 欣吾
兵庫県立大学
著作論文
- 対向電極型大電力パルススパッタ(HPPS)グロー放電と195kHz-RF放電のハイブリッド放電におけるガス変化による電気的特性の違い
- 対向電極型大電力パルススパッタ(HPPS)グロー放電と195kHz-RF放電によるハイブリッド放電の電気的特性
- 誘導結合型RFパルス放電を重畳させたハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電のアルゴン雰囲気下における電気的特性
- 対向電極型大電力パルススパッタグロー放電のガス変化における発光スペクトルの解析
- 誘導結合型RFパルス放電を重畳させたハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電のアルゴン/窒素雰囲気下における電気的特性