行村 建 | 産業技術総合研究所
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概要
関連著者
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行村 建
産業技術総合研究所
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行村 建
産業技術総合研
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行村 建
同志社大工
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行村 健
産業技術総合研究所
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行村 建
同志社大学
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東 欣吾
兵庫県立大
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東 欣吾
兵庫県立大学
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玉垣 浩
(株)神戸製鋼所
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沖本 忠雄
(株)神戸製鋼所
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小木曽 久人
産総研
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中野 禅
産業技術総合研究所
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小木曽 久人
産業技術総合研究所
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小木曽 久人
(独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門集積加工研究グループ
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中野 禅
産業技術総合研
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行村 建
同志社大学工学部
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高木 浩一
岩手大学
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佐藤 直幸
茨城大学
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池畑 隆
茨城大学
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佐久間 雄基
同志社大学
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三枝 亮介
同志社大学
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神原 信志
岐阜大
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池畑 隆
茨城大学大学院理工学研究科応用粒子線科学専攻
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神谷 旭人
茨城大学
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神原 信志
岐阜大学
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神原 信志
岐阜大学大学院工学研究科
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奥原 大地
兵庫県立大学
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守富 寛
岐阜大学
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守富 寛
岐阜大学大学院
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高木 浩一
岩手大学工学部
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高橋 和貴
岩手大学
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佐藤 広輝
茨城大学
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刑部 友敬
小島プレス工業
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古谷野 文香
岐阜大学
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佐藤 弘基
茨城大学
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渡部 雄介
茨城大学
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Koichi Takaki
Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Engineering Iwata University
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三河 遼太
岩手大学
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神原 信志
岐阜大学大学院
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神原 信志
岐阜大学院・環エネ
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守富 寛
岐阜大学大学院工学研究科 環境エネルギーシステム専攻
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藤原 民也
岩手大学
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高橋 和貴
岩手大学工学部電気電子工学科
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向川 政治
岩手大学
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青木 宏憲
岩手大学
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神原 信志
岐阜大学大学院工学研究科環境エネルギーシステム専攻
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村上 貴之
岩手大学
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阿部 将典
岐阜大学
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渡辺 雄仁
岐阜大学
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増子 冬馬
茨城大学
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富田 和成
茨城大学
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中森 秀樹
ナノテック
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平塚 傑工
ナノテック
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原 史朗
産業技術総合研究所
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藤原 民也
岩手大・工
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ABE Masanori
Gifu University
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栗山 諒二
岐阜大学
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加藤 博貴
同志社大学
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玉垣 浩
株式会社 神戸製鋼所
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沖本 忠雄
株式会社 神戸製鋼所
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根本 翔
茨城大学
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平塚 傑工
ナノテック(株)
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行村 建
(株)神戸製鋼所
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原 史朗
独立行政法人産業技術総合研究所
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渡辺 雄仁
岐阜大
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行村 健
同志社大学工学部
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栗山 諒二
岐阜大
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原 史朗
産業技術総合研
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林 剛
平和電源(株)
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横田 達也
平和電源(株)
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坂本 哲也
平和電源(株)
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豊田 光廣
平和電源(株)
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坪井 仁美
ナノテック(株)
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EHIASARIAN Arutiun
Sheffield Hallam University
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青木 宏憲
北海道電力
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中森 秀樹
ナノテック(株)
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原 史朗
独立行政法人 産業技術総合研究所
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樋口 徹
兵庫県立大学
著作論文
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電とパルスRF誘導プラズマ結合プラズマの電気的相互作用
- デュアルプラズマ法による絶縁物表面の加工特性
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電プラズマの放電開始特性
- 大気圧非平衡プラズマによるH_2/N_2/O_2系水素酸化特性とその反応メカニズム
- デュアルプラズマ配位におけるイオンエネルギーのガス圧力依存性
- 対向電極型大電力パルススパッタ(HPPS)グロー放電と195kHz-RF放電のハイブリッド放電におけるガス変化による電気的特性の違い
- デュアルプラズマ配位における絶縁性基材の帯電中和条件の検討
- ハイパワーパルススパッタ(HPPS)マグネトロン放電装置の特性
- 対向電極型HPPSグロープラズマ源が放出するプラズマ流の電流電圧特性
- 誘導結合型RFパルス放電を重畳させたハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電のアルゴン雰囲気下における電気的特性
- 対向電極型ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電からの金属イオンの引き出しおよび基材面における発光スペクトル
- 発光スペクトルにみるハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電における磁界の効果
- ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)から引き出されたプラズマとイオン電流に関する検討
- ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)におけるプラズマ負荷特性の検討
- 対向電極型ハイパワーパルススパッタグロー放電における静電シールドの効果
- 高密度パルスプラズマ生成用高電圧 - 大電流パルス電源の開発
- 対向電極型大電力パルススパッタグロー放電のガス変化における発光スペクトルの解析
- 誘導結合型RFパルス放電を重畳させたハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電のアルゴン/窒素雰囲気下における電気的特性
- Metal Ionization in a High-Power Pulsed Sputtering (HPPS) Penning Discharge
- 大気圧非平衡プラズマによる燃料電池水素オフガスの酸化特性
- プロセスチャンバー汚損内壁の環境調和型プラズマクリーニング法の検討
- ラジカルインジェクション脱硝法のラジカル反応メカニズム
- シャンティングアークの並列駆動と炭素成膜
- 内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタプラズマの電気的特性
- A new approach of high-power pulsed glow-plasma generation : shunting glow plasma
- シャンティングアークプラズマの半導体制御及びダブルプローブ計測
- 内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタ放電におけるイオン電流の圧力依存性
- 定電流シャンティングアークプラズマの特性およびTiC膜生成