内部電極が挿入された対向電極型大電力パルススパッタプラズマの電気的特性
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概要
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- 2011-08-07
著者
-
小木曽 久人
産総研
-
中野 禅
産業技術総合研究所
-
東 欣吾
兵庫県立大
-
行村 建
産業技術総合研究所
-
小木曽 久人
産業技術総合研究所
-
行村 建
同志社大工
-
小木曽 久人
(独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門集積加工研究グループ
-
中野 禅
産業技術総合研
-
奥原 大地
兵庫県立大学
-
東 欣吾
兵庫県立大学
-
行村 健
産業技術総合研究所
-
行村 建
同志社大学工学部
-
行村 建
産業技術総合研
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