レーザー干渉縞の位相速度走査による薄膜試料の弾性表面波音速測定
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概要
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レーザーを空間的に走らせる(走査する)ことにより、大振幅の単一モード、高指向性の超音波を発生する「位相速度走査(PVS;Phase Velocity Scanning)法」を開発した。レーザービームのかわりに干渉縞を走査するSIF方式により周波軌100MHz以上の弾性表面波(SAW)の発生も実現し、音速測定のための理論解析および光プローブによる検出を行い、薄膜試料の周波数80MHz-110MHzの弾性表面波の音速測定法を検討した。ここでは、PVS法の原理を述べた後、電子デバイスやマイクロマシンの材料である窒化ケイ素およびポーラスシリコン薄膜の弾性表面波の音速測定結果を述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
-
中野 禅
産業技術総合研究所
-
山中 一司
機械技術研究所
-
長 秀雄
青山学院大
-
長 秀雄
青山学院大学 理工学部 機械創造工学科
-
中野 禅
産業技術総合研
-
西野 秀郎
凸版印刷総合研究所
-
塚原 祐輔
凸版印刷総合研究所
-
佐藤 倬暢
フジクラ
-
中野 禅
機械技術研究所
-
稲葉 正俊
フジクラ
-
塚原 祐輔
凸版印刷(株)総合研究所
-
稲葉 正俊
株式会社フジクラ
-
佐藤 倬暢
フジクラ 電子デバイス研
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