Metal Ionization in a High-Power Pulsed Sputtering (HPPS) Penning Discharge
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概要
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- 2011-05-27
著者
-
小木曽 久人
産総研
-
中野 禅
産業技術総合研究所
-
東 欣吾
兵庫県立大
-
行村 建
産業技術総合研究所
-
小木曽 久人
産業技術総合研究所
-
行村 建
同志社大工
-
小木曽 久人
(独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門集積加工研究グループ
-
中野 禅
産業技術総合研
-
東 欣吾
兵庫県立大学
-
行村 健
産業技術総合研究所
-
行村 建
同志社大学工学部
-
EHIASARIAN Arutiun
Sheffield Hallam University
-
行村 建
産業技術総合研
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