1-B-1 イオンビーム励起音響による、イオン注入層のキャラクタリゼーション(B.音波物性)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 1989-11-07
著者
-
永田 可彦
産総研
-
甲田 壽男
産総研
-
中野 禅
産業技術総合研究所
-
山中 一司
機械技術研究所
-
小木曽 久人
産業技術総合研究所
-
永田 可彦
(独)産業技術総合研究所
-
永田 可彦
機械技術研究所
-
小木曽 久人
(独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門集積加工研究グループ
-
中野 禅
機械技術研究所
-
小木曽 久人
機械技術研究所基礎機械部極限技術課
-
甲田 寿男
機械技術研究所
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