微小重力下におけるエアロゾル・デポジション法による薄膜形成
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概要
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- 2006-11-30
著者
-
渡邉 匡人
学習院大学理学部
-
明渡 純
産総研
-
中野 禅
産総研
-
中野 禅
産業技術総合研究所
-
渡邉 匡人
学習院大学理学部物理学科
-
明渡 純
(独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門集積加工研究グループ
-
渡邉 匡人
学習院大 理
-
渡邉 匡人
学習院大
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