3G14 エアロゾルデポジション法で形成したアルミナ膜の静電チャックへの応用
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概要
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- 日本セラミックス協会の論文
- 2002-09-22
著者
-
明渡 純
産総研
-
明渡 純
(独)産業技術総合研究所
-
清原 正勝
東陶機器(株)
-
鳩野 広典
東陶機器(株)
-
伊藤 朋和
東陶機器
-
Lebedev Maxim
産総研
-
井出 貴之
東陶機器
-
Lebedev M
National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology (aist)
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