3A18 超微粒子ビームを用いて作製したセラミックス薄膜の微細構造と膜硬度
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概要
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- 日本セラミックス協会の論文
- 2000-10-11
著者
-
明渡 純
(独)産業技術総合研究所
-
明渡 純
工業技術院機械技術研究所
-
清原 正勝
東陶機器(株)
-
鳩野 広典
東陶機器(株)
-
Lebedev Maxim
工業技術院
-
Lebedev M
National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology (aist)
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