伊藤 朋和 | 東陶機器
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概要
関連著者
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明渡 純
産総研
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明渡 純
(独)産業技術総合研究所
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清原 正勝
東陶機器(株)
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鳩野 広典
東陶機器(株)
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伊藤 朋和
東陶機器
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Lebedev Maxim
産総研
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Lebedev M
National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology (aist)
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小木曽 久人
産総研
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井出 貴之
東陶機器
著作論文
- 3G15 エアロゾルデポジション法によるセラミックス薄膜形成メカニズム(第 3 報) : 基板加熱の製膜体微細構造への影響
- 3G14 エアロゾルデポジション法で形成したアルミナ膜の静電チャックへの応用
- 3G07 エアロゾルデポジション法によるセラミックス薄膜形成メカニズム(第 2 報) : 原料微粒子前処理の成膜体微細構造への影響