エアロゾルデポジション(AD)法による圧電厚膜形成と光デバイスへの応用

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著者

• 朴 載赫

  産総研

• 明渡 純

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• 明渡 純

  産業技術総合研究所

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  産業技術総合研

• 明渡 純

  独立行政法人 産業技術総合研究所

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