圧電駆動型メタルベース光MEMSミラーデバイスの開発とその応用 (特集 誘電体薄膜とその実用化動向)

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概要

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著者

• 朴 載赫

  産総研

• 明渡 純

  産業技術総合研究所

• 明渡 純

  産業技術総合研

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