シリコン結晶成長プロセスシミュレーションに要求される熱物性値調査
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概要
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- 日本熱物性学会の論文
- 2003-07-31
著者
-
渡邉 匡人
学習院大学理学部
-
塚田 隆夫
東北大学大学院工学研究科化学工学専攻
-
日比谷 孟俊
ウィーン工科大学熱流体力学研究所
-
田中 敏宏
大阪大学大学院工学研究科マテリアル生産科学専攻
-
渡邉 匡人
学習院大理
-
福山 博之
東京工業大学大学院理工学研究科
-
日比谷 孟俊
東京都立科学技術大学工学部
-
馬場 哲也
産業技術研 計測標準研究部門
-
田中 敏宏
大阪大学大学院工学研究科
-
日比谷 孟俊
首都大学東京
-
馬場 哲也
産業技術総合研究所AIST
-
日比谷 孟俊
東京都立科学技術大学
-
渡邉 匡人
学習院大学理学部物理学科
-
塚田 隆夫
東北大学多元物質科学研究所
-
福山 博之
東北大
-
福山 博之
東京工業大学 大学院工学研究科
-
渡邉 匡人
学習院大学 理学部
-
田中 敏宏
大阪大 大学院工学研究科
-
渡邉 匡人
学習院大 理
-
塚田 隆夫
東北大院工
-
馬場 哲也
産業技術総合研究所計測標準部
-
馬場 哲也
産業技術総合研究所 計測標準研究部門
-
渡邉 匡人
学習院大学
-
馬場 哲也
産業技術総合研究所
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