電磁力によるSi融液の回転 : 融液物性II
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概要
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When using the Czochralski method for growing large-diameter (>300 mm) silicon crystals, rotation of a large amount silicon melt contained in a crucible is a serious problem. We propose a new method for rotation of the silicon melt. This method uses the electromagnetic force without crucible rotation. The electromagnetic force, (caused by the Lorentz force in the azimuthal direction in the silicon melt) is generated by the interaction between the electric current through the melt (in the radial direction) and the vertical magnetic field generated by external magnetic coils. The rotation rate of the silicon melt changed from 0 to 100 rpm with the change in both the magnetic field strength (0 - 0.1 T) and the electric current in the melt (0 - 8 A).
- 日本結晶成長学会の論文
- 1998-07-01
著者
-
日比谷 孟俊
ウィーン工科大学熱流体力学研究所
-
渡辺 匡人
NEC
-
渡辺 匡人
NEC基礎研究所
-
日比谷 孟俊
NEC基礎研
-
渡辺 匡人
学習院大学理学部
-
日比谷 孟俊
首都大学東京
-
江口 実
Nec
-
江口 実
NEC基礎研究所
-
渡邉 匡人
学習院大 理
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