27pYC-9 低速陽電子によるSi基板の炭化により導入された空孔型欠陥の研究
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2001-03-09
著者
-
上殿 明良
筑波大数理
-
上殿 明良
筑波大学電子物理工学系
-
大平 俊行
産総研
-
上殿 明良
筑波大物理工
-
村松 誠
筑波大物理工
-
生形 友宏
筑波大物理工
-
渡辺 匡人
NEC
-
市橋 鋭也
NEC
-
鈴木 良一
電総研
-
大平 俊行
電総研
-
三角 智久
電総研
-
高須 誠一
NEC機械
-
渡辺 匡人
学習院大学理学部
-
上殿 明良
筑波大学・物理工学系
-
三角 智久
産総研
-
市橋 鋭也
Nec基礎・環境研究所
-
渡邉 匡人
学習院大 理
-
上殿 明良
筑波大学物理工学系
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