低速陽電子ビームを用いた high-κ 膜の空隙評価
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2005-05-10
著者
-
上殿 明良
筑波大数理
-
上殿 明良
筑波大学電子物理工学系
-
鈴木 良一
産総研
-
大平 俊行
産総研
-
上殿 明良
筑波大学数理物質科学研究科
-
大平 俊行
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
鈴木 良一
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
白石 賢二
筑波大学数理物質科学研究科
-
山部 紀久夫
筑波大学数理物質科学研究科
-
知京 豊裕
物質材料研究機構(NIMS)
-
知京 豊裕
物材機構
-
後藤 正和
筑波大学数理物質科学研究科
-
樋口 恵一
筑波大学数理物質科学研究科
-
池内 恒平
筑波大学数理物質科学研究科
-
ABUDUL Hamid
物質材料研究機構(NIMS)
-
山田 啓作
物質材料研究機構(NIMS)
-
北島 洋
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
-
三橋 理一郎
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
-
堀内 淳
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
-
鳥居 和功
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
-
有門 経敏
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
-
樋口 恵一
筑波大学電子・物理工学専攻
-
後藤 正和
筑波大学電子・物理工学専攻
-
知京 豊裕
(独)物質・材料研究機構
-
堀内 淳
(株)半導体先端テクノロジーズ
-
鈴木 良一
産業技術総合研究所
-
知京 豊裕
金属材料技術研究所
-
上殿 明良
筑波大学・物理工学系
-
鳥居 和功
日立製作所中央研究所
-
山部 紀久夫
筑波大学
-
北島 洋
(株)半導体先端テクノロジーズ
-
有門 経敏
(株)半導体先端テクノロジーズ
-
山田 啓作
筑波大学数理物質科学研究科
-
白石 賢二
筑波大学
-
三橋 理一郎
(株)半導体先端テクノロジーズ
-
大平 俊行
産業総合技術研究所計測フロンティア研究部門
-
後藤 正和
東芝 セミコンダクター社 半導体研究開発セ
-
知京 豊裕
(独)物質・材料研究機構 半導体材料センター
-
山田 啓作
筑波大学大学院数理物質科学研究科
-
上殿 明良
筑波大学物理工学系
-
大平 俊行
産業技術総合研究所
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