鈴木 良一 | 産業技術総合研究所

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概要

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関連著者

• 鈴木 良一

  産業技術総合研究所

• 鈴木 良一

  産総研

• 大島 永康

  産総研

• 大平 俊行

  産総研

• 大平 俊行

  産業総合技術研究所計測フロンティア研究部門

• 大島 永康

  理化学研究所

• 大島 永康

  産業技術総合研究所

• 上殿 明良

  筑波大数理

• 上殿 明良

  筑波大学電子物理工学系

• 鈴木 良一

  産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門

• 大島 永康

  産業技術総合研 計測フロンティア研究部門

• 上殿 明良

  筑波大学・物理工学系

• 上殿 明良

  筑波大学物理工学系

• 大平 俊行

  産業技術総合研究所

• 大平 俊行

  産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門

• 大島 永康

  東大 大学院

• 木野村 淳

  産総研

• オローク ブライアン

  産業技術総合研究所

• 黒田 隆之助

  産業技術総合研究所

• 木野村 淳

  産業技術総合研究所

• 金沢 育三

  東学大・物理

• 林崎 規託

  東京工業大学

• 黒田 隆之助

  産総研

• 藤浪 真紀

  千葉大院工

• 上殿 明良

  筑波大学数理物質科学研究科

• 大島 永康

  産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門

• 高際 良樹

  東大・新領域

• 木村 薫

  東大・新領域

• 北畑 宏樹

  東学大・物理

• 松下 泰久

  東学大・物理

• 小林 慶規

  産総研計測標準

• 金沢 育三

  東京学芸大.物

• 金沢 育三

  東京学芸大学教育学部

• 木村 薫

  東大 工

• 高際 良樹

  東大新領域

• 小林 慶規

  産業技術総合研究所

• 藤波 真紀

  新日鉄先端技術研

• 小林 慶規

  産総研

• 窪田 翔二

  筑波大数理

• 渡邉 宏理

  筑波大数理

• 鳴海 貴允

  筑波大数理

• 白石 賢二

  筑波大学数理物質科学研究科

• 山部 紀久夫

  筑波大学数理物質科学研究科

• 知京 豊裕

  物質材料研究機構(NIMS)

• 知京 豊裕

  物材機構

• 知京 豊裕

  (独)物質・材料研究機構

• 林 喜宏

  NECシステムデバイス研究所

• 林崎 規託

  東工大原子炉研

• 関山 裕貴

  東学大・物理

• 茂澄 孝夫

  東学大・物理

• 永田 智啓

  東大・工

• 林 喜宏

  NECシリコンシステム研究所

• 小川 博嗣

  産業技術総合研究所

• 永田 智啓

  東大・工:(現)ulvac

• 知京 豊裕

  金属材料技術研究所

• 林 喜宏

  半導体MIRAI-ASET

• 伊藤 賢志

  産業技術総合研究所

• 伊藤 賢志

  産総研企画本部

• 柳下 宏

  産総研

• 林 喜宏

  マイクロエレクトロニクス研究所

• 林 喜宏

  日本電気株式会社

• 山部 紀久夫

  筑波大学

• 山田 啓作

  筑波大学数理物質科学研究科

• 白石 賢二

  筑波大学

• 知京 豊裕

  (独)物質・材料研究機構 半導体材料センター

• 豊川 弘之

  産業技術総合研究所

• 山田 啓作

  筑波大学大学院数理物質科学研究科

• 豊川 弘之

  産業技術総合研

• 小林 慶規

  独立行政法人 産業技術総合研究所 計測標準研究部門

• 林 喜宏

  Necエレクトロニクス株式会社 Lsi基礎開発研究所

• 林崎 規託

  東京工学大学

• 峰原 英介

  若狭湾エネルギー研究センター

• 林 喜宏

  ルネサスエレクトロニクス先行研究統括部

• 星野 正光

  上智大理工

• 佐藤 公法

  東京学芸大学環境科学分野

• 鈴木 宜之

  新潟大理

• 鈴木 茂

  東北大学多元物質科学研究所

• 上殿 明良

  東京大学先端科学技術研究センタ-

• 打越 雅仁

  東北大多元研

• 鈴木 茂

  東北大多元研

• 石橋 章司

  産業技術総合研究所計算科学研究部門

• 岡 壽崇

  千葉大院工

• 藤浪 真紀

  干葉大院工

• 大塚 崇

  筑波大学数理物質科学研究科

• 伊東 健一

  筑波大学数理物質科学研究科

• 宮崎 誠一

  広島大学大学院 先端物質科学研究科

• 梅澤 直人

  物質材料研究機構(NIMS)

• 犬宮 誠治

  半導体先端テクノロジーズ(Selete)

• 神山 聡

  半導体先端テクノロジーズ(Selete)

• 赤坂 泰志

  半導体先端テクノロジーズ(Selete)

• 奈良 安雄

  半導体先端テクノロジーズ(Selete)

• 山田 啓作

  早稲田大学ナノテクノロジー研究所

• 後藤 正和

  筑波大学数理物質科学研究科

• 樋口 恵一

  筑波大学数理物質科学研究科

• 池内 恒平

  筑波大学数理物質科学研究科

• ABUDUL Hamid

  物質材料研究機構(NIMS)

• 山田 啓作

  物質材料研究機構(NIMS)

• 北島 洋

  半導体先端テクノロジーズ(Selete)

• 三橋 理一郎

  半導体先端テクノロジーズ(Selete)

• 堀内 淳

  半導体先端テクノロジーズ(Selete)

• 鳥居 和功

  半導体先端テクノロジーズ(Selete)

• 有門 経敏

  半導体先端テクノロジーズ(Selete)

• 樋口 恵一

  筑波大学電子・物理工学専攻

• 後藤 正和

  筑波大学電子・物理工学専攻

• 谷川 庄一郎

  筑波大物理工

• 上殿 明良

  筑波大学物理工学科

• 谷川 庄一郎

  筑波大学物理工学科

• 鈴木 良一

  筑波大学物質工学系

• 金井 保之

  理研

• 山崎 泰規

  理研

• 岩井 良夫

  理研原子物理

• 池田 時浩

  理研原子物理

• 小島 隆夫

  理研原子物理

• 土田 秀次

  京大院工

• 伊藤 秋男

  京大院工

• 海堀 岳史

  甲南大理工

• 豊川 弘之

  産総研

• 豊川 弘之

  産業技術総合研究所 計測フロンティア研究部門

• 井上 尚也

  大阪府立大学工学部情報工学科

• 伊藤 文則

  NECエレクトロニクスLSI基礎開発研究所

• 山本 博規

  NECエレクトロニクスLSI基礎開発研究所

• 竹内 常雄

  NECエレクトロニクスLSI基礎開発研究所

• 鹿川 和哉

  東学大・物理

• 鈴木 寛之

  東学大・物理

• 大垣 英明

  京都大学エネルギー理工学研究所

• 堀内 淳

  (株)半導体先端テクノロジーズ

• 吉丸 正樹

  半導体理工学研究センター

• 谷川 庄一郎

  筑波大物質工学

• Batchuluun C.

  若狭湾エネ

• 伊藤 慶文

  若狭湾エネ

• 金沢 育三

  東学大物理

• 赤坂 泰志

  東京エレクトロン株式会社

• 奈良 安雄

  (株)富士通研究所 Ulsi研究部門

• 大垣 英明

  電総研

• 池田 健一

  日東電工(株)

• 池田 健一

  日東電工

• 大垣 英明

  京大 エネルギー理工学研

• 大垣 英明

  京大エネ理工

• 鈴木 良一

  電子技術総合研究所

• 豊川 弘之

  (独)産業技術総合研究所 計測フロンティア研究部門

• 内田 恭敬

  帝京科学大学

• 小島 隆夫

  理研

• 池田 時浩

  理研

• 金田 尚志

  (株)日鐵テクノリサーチ 計測事業部

• 佐藤 公法

  学芸大環境科学

• 富樫 寿

  独立行政法人産業技術総合研究所

• 道田 泰子

  独立行政法人産業技術総合研究所

• 于 潤升

  産業技術総合研究所

• 平田 浩一

  産業技術総合研究所

• 富樫 寿

  産業技術総合研究所

• 佐藤 公法

  産業技術総合研究所

• 平田 浩一

  産総研計測標準

• 道田 泰子

  産業技術総合研究所

• 鳥居 和功

  日立製作所中央研究所

• 大垣 英明

  電子技術総合研究所

• 星野 正光

  上智大学理工学部

• 伊藤 文則

  NECデバイスプラットフォーム研究所

• 竹内 常雄

  NECデバイスプラットフォーム研究所

• 山本 博規

  NECデバイスプラットフォーム研究所

• 林 喜宏

  NECデバイスプラットフォーム研究所

• 海堀 岳史

  産業技術総合研究所

• 石田 宏一

  帝京科学大学理工学部

• 北島 洋

  (株)半導体先端テクノロジーズ

• 有門 経敏

  (株)半導体先端テクノロジーズ

• 丸山 喜之

  帝京科学大学理工学部

• 加藤 智博

  帝京科学大学理工学部

• 梅澤 直人

  南カリフォルニア大

• 鈴木 宣之

  東学大・物理

• 三橋 理一郎

  (株)半導体先端テクノロジーズ

• 林 喜宏

  Necエレクトロニクス Lsi基礎開研

• 中村 友二

  半導体理工学センター(starc)

• 柳下 宏

  産業技術総合研

• 犬宮 誠治

  (株)半導体先端テクノロジーズ

• 井上 尚也

  半導体理工学センター(STARC)

• 林 喜宏

  半導体理工学センター(STARC)

• 江口 和弘

  半導体理工学センター(STARC)

• 廣瀬 幸範

  半導体理工学センター(STARC)

• 大島 永康

  産業総合技術研究所計測フロンティア研究部門

• 鈴木 良一

  産業総合技術研究所計測フロンティア研究部門

• 島津 彰

  日東電工

• 大垣 英明

  京都大学

• 後藤 正和

  東芝 セミコンダクター社 半導体研究開発セ

• 川口 佳秀

  日東電工

• 赤坂 みどり

  日東電工

• 遠藤 大輔

  東学大物理

• 浅見 憲司

  東学大物理

• 神山 聡

  (株)半導体先端テクノロジーズ(selete)

• 吉丸 正樹

  半導体理工学センター(starc)

• SUZUKUI Yasuyuki

  Research Center for Nuclear Physics, Niigata University

• 宮崎 誠一

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 内田 恭敬

  帝京科学大学理工学部

• 石田 宏一

  帝京科学大学

• 金田 尚志

  (株)日鐵テクノリサーチ

• 廣瀬 幸範

  半導体理工学センター (starc)

• 江口 和弘

  半導体理工学センター (starc)

• 吉丸 正樹

  半導体理工学センター (starc)

• 鈴木 宜之

  新潟大学:理化学研究所

• 宮崎 誠一

  広島大学大学院

• 山田 啓作

  早稲田大学:筑波大学

• 井上 尚也

  ルネサスエレクトロニクス先行研究統括部

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著作論文

• 21pBF-7 大気陽電子顕微鏡用高周波空洞の開発(21pBF ビームダイナミクス・数値計算・電子顕微鏡・線形加速器・ビーム源・ビーム診断,ビーム物理領域)
• 20aHT-7 陽電子プローブマイクロアナライザーによる延伸鉄試料の欠陥評価(20aHT 領域10 格子欠陥・ナノ構造(水素,ナノ粒子,金属),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 陽電子消滅による窒化物光半導体の点欠陥の評価(窒化物半導体結晶中の欠陥)
• 27aRE-7 陽電子プローブマイクロアナライザーを用いた高分子中の陽電子寿命測定(27aRE X線・粒子線(陽電子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 23pVE-10 陽電子プローブマイクロアナライザーによる欠陥分布の観察(23pVE 格子欠陥・ナノ構造(光物性・微粒子・水素・陽電子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 低速陽電子ビームを用いたhigh-kゲート絶縁膜の空隙の評価(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
• 低速陽電子ビームを用いた high-κ 膜の空隙評価
• 研究紹介 陽電子による先端半導体材料の評価
• 21aYJ-1 陽電子消滅法によるAlReSi近似結晶の空孔評価と電気物性(21aYJ 準結晶,領域6(金属,超低温,超伝導・密度波))
• 22pRE-6 Niナノ結晶の照射欠陥蓄積におけるイオンフラックス依存性(放射線物理(固体内衝突・損傷過程),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
• 27pYK-1 陽電子消滅法によるAlReSi近似結晶の空孔評価と電気物性(27pYK 準結晶,領域6(金属,超低温,超伝導・密度波))
• 20pXH-12 ガラスキャピラリーによる陽電子マイクロビーム生成の試み(原子・分子,領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
• 29pZB-2 乾電池駆動超小型電子加速器・高エネルギーX線源の開発とその応用(29pZB ビーム物理領域,領域10合同シンポジウム:小型加速器の新展開とその応用,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 29pZB-2 乾電池駆動超小型電子加速器・高エネルギーX線源の開発とその応用(29pZB ビーム物理領域,領域10合同シンポジウム:小型加速器の新展開とその応用,ビーム物理領域)
• 23pXB-4 エネルギー可変パルス陽電子ビームで探る材料ナノ構造(領域10シンポジウム主題:エキゾチック粒子で探る物質ナノ構造と物性,領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
• 陽電子ビーム1.低速陽電子ビームの発生
• 分光エリプソメトリー及びエネルギー可変陽電子消滅法によるシリカスパッタ薄膜の細孔構造解析
• 陽電子消滅法を用いたポーラスLow-k膜の空孔連結性と吸湿特性の相関(配線・実装技術と関連材料技術)
• レーザーコンプトンγ線ビームを用いた物体内部のCT可視化
• エチレン基含有ポーラスシリカ膜の空孔評価
• 低速陽電子ビームを用いたCu/low-k配線構造中の欠陥検出(配線・実装技術と関連材料技術)
• 陽電子消滅法による高分子表面の空隙解析
• 14pXG-14 低速陽電子ビームによる Ni・ポリマー膜の評価(表面界面構造 : 半導体, 領域 9)
• 26pGAB-11 陽電子発生専用超伝導加速器の開発(26pGAB ビームモニタ・大強度ビーム・加速器応用,ビーム物理領域)
• 27pTN-4 低速陽電子ビーム大気取り出し法の研究(27pTN X線・粒子線(陽電子・電子線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 26pEH-13 AlReSi近似結晶のSPSによる組織改善と陽電子消減法による構造欠陥の評価(26pEH 液体金属・準結晶・金属一般,領域6(金属,超低温,超伝導・密度波))
• 21aJA-12 低速陽電子ビームを用いた大気中試料の空孔分析法の開発(21aJA X線・粒子線(電子線・陽電子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 21aJA-11 陽電子発生専用超伝導加速器と新陽電子ビームライン建設の進展報告(21aJA X線・粒子線(電子線・陽電子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 陽電子プローブマイクロアナライザーの開発と応用 (特集 広がる放射線・アイソトープの利用 : 環境・医療・加速器・材料分析科学への展開)
• 低速陽電子消滅法による水処理用複合膜のサブナノ空孔解析
• 24pCE-1 超短パルス電子加速器を用いる光子誘起陽電子寿命測定法の開発(24pCE X線・粒子線(陽電子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 産総研における個人向け小型放射線積算線量計の開発
• 29aXZB-8 産総研の新陽電子ビームライン施設の現状(29aXZB 領域10,ビーム物理領域合同 X線・粒子線(電子線・陽電子),ビーム物理領域)
• 29aXZB-8 産総研の新陽電子ビームライン施設の現状(29aXZB 領域10,ビーム物理領域合同 X線・粒子線(電子線・陽電子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))

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